真空/高溫量測探針台

SemiProbe真空探測器適用於用戶的晶圓/基板,廣泛用於MEMS開發和生產。 從傳感器到陀螺儀,任何可以在傳統或通過3D封裝中真空包裝的產品都可以適用。 SemiProbe真空系統最大可以測試300 mm的晶圓或基板。 同時以測試單個芯片和部分晶片。 熱卡盤選項適用於-65度至300度的溫度範圍。也以及多種不同類型的泵和控制器,以滿足各種真空水平、多種應用提供測試解決方案。