Probe Station Fine-tune

探針台

PROBE STATION

探針台

PROBE STATION

微調座

使用於探針台上, 用於精確定位探針位置。

/ 特點

高精度調整, 支援微米等級移動
具備多軸向控制 (X, Y, Z & θ), 以微分頭轉軸控制
正/背面, 多種型號選擇

晶圓級探針台

適用於晶片、晶圓、研發驗證、封裝前測試等

雙面探針台

適用於雙面設計之晶片、晶圓，也可應用於研發驗證、封裝前測試

模組化探針台

高度訂製化、

靈活可擴展的半導體測試設備

微調座

使用於探針台上，用於精確定位探針位置。

/ 特點

高精度調整，支援微米等級移動
具備多軸向控制 (X, Y, Z & θ)，以微分頭轉軸控制
正/背面，多種型號選擇

PSTAM 微調座 HPS-PST12301-L RF017/RF020，X-Y-Z軸程12mm，θ軸程3度

PSTAM 微調座 HPS-PST12301-R N/S，X-Y-Z軸程12mm，θ軸程10度

PSTAM 微調座 RF003 (RF Probe & Back Side)，X-Y-Z軸程12mm，θ軸程10度

DC 微調座 HPS-PST06301，HPS-PSTAM-DC002，HTWE-BNC(M)TH#300，HPS-DCTIP05，X-Y-Z軸程12mm

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF06301，可調式X-Y-Z軸，精度2um/step

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF12321-K110，可調式X-Y-Z軸程12mm，精度2um/step
(適用於倍頻器量測)

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF421-K110-4X-L-BS，X-Y-Z軸程12mm，精度2um/step
(適用於背面量測)

顯微鏡微調座 HPS-PST30301/RFM004，HPS-OCCD010 1，HPS-OSC010607，HPS-OLENS-RA，HPS-OLED0104，X-Y-Z軸程30-30-12mm

晶圓級探針台
適用於晶片、晶圓、研發驗證、封裝前測試等

雙面探針台
適用於雙面設計之晶片、晶圓，也可應用於研發驗證、封裝前測試

模組化探針台
高度訂製化、靈活可擴展的半導體測試設備

微調座
精密的定位和調節設備

顯微鏡
電子顯微鏡搭配大螢幕視野，增加量測舒適度

防震模組
穩定測試系統，保護設備避免受震動衝擊影響測試結果

配件

包括電子顯微鏡、精密微調座與防震模組

產品與服務

射頻元件

探針台

MMICs

Package & Final Test

技術支援

產品與服務

射頻元件

探針台

MMICs

Package & Final Test

技術支援

探針台

探針台

微調座

晶圓級探針台

雙面探針台

模組化探針台

微調座

PSTAM 微調座 HPS-PST12301-L RF017/RF020，X-Y-Z軸程12mm，θ軸程3度

PSTAM 微調座 HPS-PST12301-R N/S，X-Y-Z軸程12mm，θ軸程10度

PSTAM 微調座 RF003 (RF Probe & Back Side)，X-Y-Z軸程12mm，θ軸程10度

DC 微調座 HPS-PST06301，HPS-PSTAM-DC002，HTWE-BNC(M)TH#300，HPS-DCTIP05，X-Y-Z軸程12mm

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF06301，可調式X-Y-Z軸，精度2um/step

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF12321-K110，可調式X-Y-Z軸程12mm，精度2um/step (適用於倍頻器量測)

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF421-K110-4X-L-BS，X-Y-Z軸程12mm，精度2um/step (適用於背面量測)

顯微鏡微調座 HPS-PST30301/RFM004，HPS-OCCD010 1，HPS-OSC010607，HPS-OLENS-RA，HPS-OLED0104，X-Y-Z軸程30-30-12mm

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PSTRF 微調座 HPS-PSTRF12321-K110，可調式X-Y-Z軸程12mm，精度2um/step
(適用於倍頻器量測)

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF421-K110-4X-L-BS，X-Y-Z軸程12mm，精度2um/step
(適用於背面量測)

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