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PROBE STATION

微調座

使用於探針台上, 用於精確定位探針位置。

/ 特點

  • 高精度調整, 支援微米等級移動
  • 具備多軸向控制 (X, Y, Z & θ), 以微分頭轉軸控制
  • 正/背面, 多種型號選擇
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晶圓級探針台

適用於晶片、晶圓、研發驗證、封裝前測試等

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雙面探針台

適用於雙面設計之晶片、晶圓，也可應用於研發驗證、封裝前測試

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模組化探針台

高度訂製化、

靈活可擴展的半導體測試設備

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微調座

使用於探針台上, 用於精確定位探針位置。

/ 特點

  • 高精度調整, 支援微米等級移動
  • 具備多軸向控制 (X, Y, Z & θ), 以微分頭轉軸控制
  • 正/背面, 多種型號選擇

PSTAM 微調座 HPS-PST12301-L RF017/RF020, X-Y-Z軸程12mm, θ軸程3度

PSTAM 微調座 HPS-PST12301-R N/S, X-Y-Z軸程12mm, θ軸程10度

PSTAM 微調座 RF003 (RF Probe & Back Side), X-Y-Z軸程12mm, θ軸程10度

DC 微調座 HPS-PST06301, HPS-PSTAM-DC002, HTWE-BNC(M)TH#300, HPS-DCTIP05, X-Y-Z軸程12mm

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF06301, 可調式X-Y-Z軸, 精度2um/step

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF12321-K110, 可調式X-Y-Z軸程12mm, 精度2um/step
(適用於倍頻器量測)

PSTRF 微調座 HPS-PSTRF421-K110-4X-L-BS, X-Y-Z軸程12mm, 精度2um/step
(適用於背面量測)

顯微鏡微調座 HPS-PST30301/RFM004, HPS-OCCD010 1, HPS-OSC010607, HPS-OLENS-RA, HPS-OLED0104, X-Y-Z軸程30-30-12mm

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雙面探針台
適用於雙面設計之晶片、晶圓，也可應用於研發驗證、封裝前測試

模組化探針台
高度訂製化、靈活可擴展的半導體測試設備

微調座
精密的定位和調節設備

顯微鏡
電子顯微鏡搭配大螢幕視野, 增加量測舒適度

防震模組
穩定測試系統, 保護設備避免受震動衝擊影響測試結果

配件

包括電子顯微鏡、精密微調座與防震模組

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