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探針台

PROBE STATION

探針台

PROBE STATION

顯微鏡系統

使用於探針台上,提供下針時所需視野。

/ 特點

  • 新式電子顯微鏡,解析度4K,高放大倍率,提供更多工作距離
  • 可搭載顯微鏡用微調座,提供可調軸向控制
  • 背面下針可搭配90度轉角式顯微鏡使用
  • 光源選項有環形光與同軸光

顯微鏡系統

使用於探針台上, 提供下針時所需視野。

 

/ 特點

  • 新式電子顯微鏡, 解析度4K, 高放大倍率, 提供更多工作距離
  • 可搭載顯微鏡用微調座, 提供可調軸向控制
  • 背面下針可搭配90度轉角式顯微鏡使用
  • 光源選項有環形光與同軸光

晶圓級探針台

適用於晶片、晶圓、研發驗證、封裝前測試等

雙面探針台

適用於雙面設計之晶片、晶圓,也可應用於研發驗證、封裝前測試

模組化探針台

高度訂製化、

靈活可擴展的半導體測試設備

配件

包括電子顯微鏡、精密微調座與防震模組