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探針台

PROBE STATION

探針台

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晶圓級探針台

/ 特點

  • Chuck支援多模式移動
  • 高精度快速移動平台
  • 支援多種晶圓尺寸
  • 適用於桌面、防震平台或暗箱中使用
  • 提供直流(DC)與射頻(RF)版本選擇

/ 配置

  • 不鏽鋼基座搭配鋁合金設計
  • 標配一對帶磁性底座的微調座
  • 顯微鏡搭配X、Y方向移動支架,支援同軸光
  • 顯微鏡焦距40X~220X / 55X~300X,150mm工作距離(可選配)

晶圓級探針台

/ 特點

  • Chuck支援多模式移動
  • 高精度快速移動平台
  • 支援多種晶圓尺寸
  • 適用於桌面、防震平台或暗箱中使用
  • 提供直流(DC)與射頻(RF)版本選擇

/ 配置

  • 不鏽鋼基座搭配鋁合金設計
  • 標配一對帶磁性底座的微調座
  • 顯微鏡搭配X、Y方向移動支架,支援同軸光
  • 顯微鏡焦距40X~220X / 55X~300X, 150mm工作距離(可選配)

晶圓級探針台

適用於晶片、晶圓、研發驗證、封裝前測試等

雙面探針台

適用於雙面設計之晶片、晶圓,也可應用於研發驗證、封裝前測試

模組化探針台

高度訂製化、

靈活可擴展的半導體測試設備

配件

包括電子顯微鏡、精密微調座與防震模組