探針台

PROBE STATION

探針台

PROBE STATION

探針台(Probe Station)

專門用於測試半導體晶圓和電子元件的系統, 廣泛應用於晶圓製造、IC設計及其他與電子元件相關的研發和製造領域。

探針台(Probe Station)

專門用於測試半導體晶圓和電子元件的系統, 廣泛應用於晶圓製造、IC設計及其他與電子元件相關的研發和製造領域。

/ 探針台的組成
探針台主機 > 測試平台 > 顯微鏡系統 > 微調座

 

/ 主機控制工作站       / 環境條件選配防震系統

如何選擇適合的探針台

測試平台
1. 待測物尺寸與形狀, 測點數量與位置
2. 待測物材質與平台接觸考量, 可選擇非金屬材質台面
3. 待測物固定於平台的方式, 可分為真空吸附與夾式
4. 環境條件, 是否需求屏蔽電磁干擾/溫控平台
微調座
1. 移動軸數需求, 常見為X、Y、Z與Theta軸
2. 移動行程、精度與解析度
3. 手動/電控調整
4. 所搭載的探針類型考量

01

02

03

04

探針台主機
1. 晶圓製程或批量測試, 建議選擇晶圓探針台
2. 雙面電性測試或功率元件測試, 可選雙面探針台
3. 測試需求多變且需靈活配置, 建議選擇模組化探針台
顯微鏡系統
1. 解析度與放大倍率選配
2. 所需視野範圍與工作距離
3. 光源選擇, 環形光/同軸光
4. 顯微鏡控制軸行程評估

如何選擇適合的探針台

01

02

03

04

探針台主機

1. 晶圓製程或批量測試, 建議選擇晶圓探針台
2. 雙面電性測試或功率元件測試, 可選雙面探針台
3. 測試需求多變且需靈活配置, 建議選擇模組化探針台

測試平台

1. 待測物尺寸與形狀, 測點數量與位置
2. 待測物材質與平台接觸考量, 可選擇非金屬材質台面
3. 待測物固定於平台的方式, 可分為真空吸附與夾式
4. 環境條件, 是否需求屏蔽電磁干擾/溫控平台

顯微鏡系統

1. 解析度與放大倍率選配
2. 所需視野範圍與工作距離
3. 光源選擇, 環形光/同軸光
4. 顯微鏡控制軸行程評估

微調座

1. 移動軸數需求, 常見為X、Y、Z與Theta軸
2. 移動行程、精度與解析度
3. 手動/電控調整
4. 所搭載的探針類型考量

晶圓級探針台

適用於晶片、晶圓、研發驗證、封裝前測試等

雙面探針台

適用於雙面設計之晶片、晶圓,也可應用於研發驗證、封裝前測試

模組化探針台

高度訂製化、

靈活可擴展的半導體測試設備

配件

包括電子顯微鏡、精密微調座與防震模組