PROBE STATION
專門用於測試半導體晶圓和電子元件的系統, 廣泛應用於晶圓製造、IC設計及其他與電子元件相關的研發和製造領域。
/ 探針台的組成探針台主機 > 測試平台 > 顯微鏡系統 > 微調座
/ 主機控制工作站 / 環境條件選配防震系統
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適用於晶片、晶圓、研發驗證、封裝前測試等
適用於雙面設計之晶片、晶圓,也可應用於研發驗證、封裝前測試
高度訂製化、
靈活可擴展的半導體測試設備
包括電子顯微鏡、精密微調座與防震模組